集成電(diàn)路(lù)探測系統是(shì©≠)一(yī)種成熟的(de)工(gōng)具,用(yòng)于測試矽晶€σ↓片,裸片和(hé)開(kāi)放(fàng)式微(wēi)芯片上π" ≤(shàng)的(de)電(diàn)路(l♣ ↔ù)和(hé)器(qì)件(jiàn)。探針台允許用(ββ€yòng)戶将電(diàn)探針,光(guāng)學探針或RF探針放(fàng↔σ®π)置在矽晶片上(shàng),從(cóng)而↕"可(kě)以測試。